97精品一区二区视频在线观看|91精品啪在线观看国产91蜜桃|久久久亚洲AV无码专区国产精|精品少妇人妻av无码久久
歡迎訪問深圳市方瑞科技有限公司
深圳市方瑞科技有限公司

全國咨詢熱線
0755-29434229

您當(dāng)前的位置:首頁 » 等離子清洗機(jī)

方瑞產(chǎn)品分類

Product Center

聯(lián)系我們

深圳市方瑞科技有限公司

地址:深圳市光明新區(qū)公明鎮(zhèn)合水口社區(qū)第七工業(yè)區(qū)星皇科技園第二棟4樓
銷售:15219492755 焦小姐
電話:0755-29434229?



  • 等離子清洗機(jī) 真空等離子清洗設(shè)備

箱式等離子清洗機(jī)

應(yīng)用于光刻膠灰化、LDI后光祖去除、聚合物去除、大劑量離子注入后光阻去除、氮化硅和碳化硅刻蝕、TaSi 蝕刻、MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))應(yīng)用、先進(jìn)封裝工藝 PR、PI、BCB、PBO)、射頻濾波器BAW/SAW工藝中的光阻去除等。
咨詢熱線:0755-29434229

等離子表面處理機(jī)
產(chǎn)品詳細(xì)介紹

FARI箱式等離子清洗機(jī)采用先進(jìn)的干法去膠及蝕刻系統(tǒng), 可支持晶圓產(chǎn)品的大規(guī)模生產(chǎn)和處理, 設(shè)備維護(hù)成本低效率高,做到了最大程度地減少等離子體造成的損傷, 來穩(wěn)定地進(jìn)行光刻膠剝離,還可以通過使用各種化學(xué)物質(zhì)來改進(jìn)高劑量離子注入光刻膠去除工藝, 并可用于氮化硅,氧化物,金屬層等多種工藝。

項目 規(guī)格
主機(jī)尺寸                                                  
2120W x 1690D x 2170H mm
真空腔體尺寸
1140W x 1560D x 960H mm
電極板配置
16 片垂直電極板,15 個處理位置
有效區(qū)域
1120W x 640H mm (44 x 25 inch)
等離子體電源
10kW,40kHz,
工作氣壓
0.15~0.3Torr,控制精度 0.1mTorr
空間需求
5060 x 4000 x 2400(H)mm
制程用途
1. 適用于 PCB 的盲孔和通孔的 Plasma 干法除膠渣;
2. 干膜、阻焊油墨的刻蝕;
3. 軟板表面、銅面清潔活化;
4. PTFE、陶瓷基板的表面和孔內(nèi)活化。
適配PCB尺寸
Max:25*44inch
Min:10*10inch
適配板厚范圍
1. 0.036~0.5mm:需要專用支撐治具輔助上掛架;
2. 0.5~5mm 可直接上掛架。
處理最小孔徑 通孔150um,盲孔60um
除膠速率 刻蝕速率:0.09mg/(cm2*min)












多層柔性板除膠渣:適用于環(huán)氧樹脂膠,亞克力膠等各種膠系。                                                                                                                             

相比化學(xué)藥水除膠渣更穩(wěn)定,更徹底,良率可提高 20%以上。

高頻板處理效果圖:


高縱橫比 FR-4 硬板微孔除膠渣、高 TG 硬板除膠渣:由于化學(xué)

藥水漲力因素導(dǎo)致用藥水除膠渣時,藥水法滲透到微孔內(nèi)部,

使除膠渣不徹底,等離子可不受孔徑大小限制,越小孔徑優(yōu)勢逾

突出。

軟硬結(jié)合板除膠渣:除膠渣徹底,避免了高錳酸鉀藥水對軟板 PI 的攻擊,孔壁凹蝕均勻,提高孔鍍的可靠性和良率。



方瑞科技已通過CE認(rèn)證和ISO9001。這些年來,我們不斷研發(fā),獲得多項“實用新型專利證書”。我們將盡最大努力實現(xiàn)突破。


推薦產(chǎn)品
我公司專業(yè)生產(chǎn)大氣等離子清洗機(jī),真空等離子清洗機(jī),
有任何問題,可直接咨詢我們在線客服,聯(lián)系電話:0755-29434229
等離子表面處理機(jī)
0755-29434229

97精品一区二区视频在线观看|91精品啪在线观看国产91蜜桃|久久久亚洲AV无码专区国产精|精品少妇人妻av无码久久